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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum galvanischen Abscheiden eines elektrisch leitenden Materiales auf einem Substrat
摘要
申请公布号 DE4124814(C2) 申请公布日期 1996.11.21
申请号 DE19914124814 申请日期 1991.07.26
申请人 ENTHONE-OMI, INC., WARREN, MICH., US 发明人 DESTHOMAS, GUY, VEIGY, FR
分类号 C25D1/00;C25D5/00;C25D17/28;C25D21/12;(IPC1-7):C25D5/10;C25D19/00 主分类号 C25D1/00
代理机构 代理人
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