发明名称 DRY ETCHING DEVICE AND DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08302488(A) 申请公布日期 1996.11.19
申请号 JP19950135974 申请日期 1995.05.08
申请人 HORIIKE YASUHIRO;ANELVA CORP 发明人 HORIIKE YASUHIRO;TSUKADA TSUTOMU
分类号 C30B33/12;C23F4/00;C30B35/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306 主分类号 C30B33/12
代理机构 代理人
主权项
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