发明名称 INTEGRIERTER VERTEILERAPPARAT FÜR CHEMISCHEN DAMPF VON EINER NICHTGASFÖRMIGEN QUELLE FÜR DIE HALBLEITERHERSTELLUNG
摘要
申请公布号 AT144561(T) 申请公布日期 1996.11.15
申请号 AT19920912604T 申请日期 1992.05.29
申请人 STAUFFER, CRAIG, M. 发明人 STAUFFER, CRAIG, M.
分类号 B01J4/00;B01J4/02;B01J7/00;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;F17C7/02;F17C7/04;F17C13/04;G03F7/38;(IPC1-7):C23C16/46 主分类号 B01J4/00
代理机构 代理人
主权项
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