发明名称 Ionenbündelfokussierungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE69026751(T2) 申请公布日期 1996.11.14
申请号 DE19906026751T 申请日期 1990.05.17
申请人 KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.), KOBE, JP 发明人 KAWATA, YUTAKA, KOBE-SHI, HYOGO-KEN, JP;INOUE, KEN-ICHI, KOBE-SHI, HYOGO-KEN, JP;ISHIBASHI, KIYOTAKA, KOBE-SHI, HYOGO-KEN, JP;KOBAYASHI, AKIRA, KOBE-SHI, HYOGO-KEN, JP;INOUE, KOJI, TOKYO, JP;SUZUKI, NORIO, KOBE-SHI, HYOGO-KEN, JP;ARAI, AKIO, KOBE-SHI, HYOGO-KEN, JP;YAMADA, KANEO, AKASHI-SHI, HYOGO-KEN, JP;TOKUSHIGE, KEIZO, MATSUBARA-SHI, OSAKA, JP;FUKUYAMA, HIROFUMI, KOBE-SHI, HYOGO-KEN, JP;ADACHI, SHIGETO, KOBE-SHI, HYOGO-KEN, JP;FURUKAWA, YUKITO, KOBE-SHI, HYOGO-KEN, JP;TAKAHASHI, SUNAO, KOBE-SHI, HYOGO-KEN, JP;KIMURA, MAKOTO, KOBE-SHI, HYOGO-KEN, JP
分类号 G01Q90/00;H01J37/09;H01J37/256;(IPC1-7):G21K1/02 主分类号 G01Q90/00
代理机构 代理人
主权项
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