发明名称 Raster Reflektions-Beugungselektronenmikroskop
摘要
申请公布号 DE69211378(T2) 申请公布日期 1996.11.07
申请号 DE19926011378T 申请日期 1992.02.17
申请人 SHIMADZU CORP., KYOTO, JP 发明人 MARUI, TAKAO, KANAGAWA 259-13, JP
分类号 H01J37/28;G01Q30/02;G01Q30/04;H01J31/48;H01J37/22;H01J37/29;H01J37/295;(IPC1-7):H01J37/295;H01J31/26 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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