发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08288189(A) 申请公布日期 1996.11.01
申请号 JP19950089599 申请日期 1995.04.14
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 MAEDA TAKAHIRO
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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