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发明名称
摘要
申请公布号	JP2548722(B2)	申请公布日期	1996.10.30
申请号	JP19870100609	申请日期	1987.04.22
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	KIMURA HIDE;KUME ICHIRO
分类号	H01L21/208;C30B19/06;(IPC1-7):C30B19/06	主分类号	H01L21/208
代理机构		代理人
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