发明名称 Deformable mirror with cooling device
摘要
申请公布号 EP0610810(B1) 申请公布日期 1996.10.23
申请号 EP19940101626 申请日期 1994.02.03
申请人 DIEHL GMBH & CO. 发明人 BAER, KLAUS;SCHMIEDL, REINHARD
分类号 G02B7/18;G02B26/06;G02B26/08;(IPC1-7):G02B7/18 主分类号 G02B7/18
代理机构 代理人
主权项
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