发明名称 |
PORTE-SUBSTRAT ELECTROSTATIQUE |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2724269(B1) |
申请公布日期 |
1996.10.18 |
申请号 |
FR19940010647 |
申请日期 |
1994.09.06 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
PECCOUD LOUISE;PELLEGRIN PHILIPPE |
分类号 |
H01L21/683;H02N13/00;(IPC1-7):H02N13/00;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/683 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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