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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND EVALUATION METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH08271589(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950074334 申请日期 1995.03.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TOYOSHIMA YOSHIAKI
分类号 G01R31/319;G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/319
代理机构 代理人
主权项
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