发明名称 Verfahren zur Verdrahtung in einer Halbleiterschaltungsanordnung
摘要
申请公布号 DE4132849(C2) 申请公布日期 1996.10.17
申请号 DE19914132849 申请日期 1991.10.02
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NAGASE, HACHIDAI, HADANO, JP;ISHII, TATSUKI, TOKIO/TOKYO, JP;SUZUKI, KATSUYOSHI, HADANO, JP
分类号 H01L21/82;G06F17/50;H01L23/528;(IPC1-7):H01L21/768;G11C5/06 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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