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发明名称 Verrichtung zum reaktiven Beschichten eines Substrats
摘要
申请公布号 DE4106770(C2) 申请公布日期 1996.10.17
申请号 DE19914106770 申请日期 1991.03.04
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE 发明人 LATZ, RUDOLF, DR., 6054 RODGAU, DE;SCHANZ, MICHAEL, DR., 6070 LANGEN, DE;SCHERER, MICHAEL, DR., 6458 RODENBACH, DE;SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, DR., 8758 GOLDBACH, DE
分类号 C23C14/06;C23C14/00;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35;C23C14/08 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
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