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发明名称 MOLYBDENUM SILICIDE TARGET MATERIAL AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH08269702(A) 申请公布日期 1996.10.15
申请号 JP19950099978 申请日期 1995.03.31
申请人 HITACHI METALS LTD 发明人 HIRAKI AKITOSHI
分类号 C01B33/06;C23C14/06;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C01B33/06
代理机构 代理人
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