| 发明名称 |
METHOD FOR MEASURING THICKNESS OF OXIDE FILM BY GLOW DISCHARGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08261712(A) |
申请公布日期 |
1996.10.11 |
| 申请号 |
JP19950066484 |
申请日期 |
1995.03.24 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
ARAYA SHOICHI;INOUE TAKESHI;UCHIDA HIDE;YAMAMOTO HIROYASU |
| 分类号 |
G01B7/06;G01B7/26;G01N30/74;(IPC1-7):G01B7/26 |
主分类号 |
G01B7/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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