| 发明名称 |
INSPECTION APPARATUS FOR BOARD OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY UNIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08262090(A) |
申请公布日期 |
1996.10.11 |
| 申请号 |
JP19950086176 |
申请日期 |
1995.03.18 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TERU ENG KK |
发明人 |
NAKAGOME YOICHI;YOKOMORI HIDETO |
| 分类号 |
G01R31/28;G01R31/00;G02F1/13;G02F1/1333;(IPC1-7):G01R31/00;G02F1/133 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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