| 发明名称 |
DEPOSITION OF TITANIUM SILICIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08264551(A) |
申请公布日期 |
1996.10.11 |
| 申请号 |
JP19950068038 |
申请日期 |
1995.03.27 |
| 申请人 |
NIPPON HOSO KYOKAI <NHK> |
发明人 |
OKUBO TATSUYA;YAMAUCHI MASAHITO;KOBAYASHI KIICHI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/265;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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