| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08264472(A) |
申请公布日期 |
1996.10.11 |
| 申请号 |
JP19950065869 |
申请日期 |
1995.03.24 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KANEKO YUTAKA;MIYATA TOSHIMITSU;YAMASHITA KUNIO;KIYOTA YUKIHIRO;KANETOMO MASABUMI;MATSUSHIMA MASARU |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/205;H01L21/26;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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