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经营范围
发明名称
Magnetronzerstäubungsanlage
摘要
申请公布号
DE69027344(T2)
申请公布日期
1996.10.10
申请号
DE19906027344T
申请日期
1990.01.30
申请人
MITSUBISHI CHEMICAL CORP., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
ARITA, YOJI, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号
C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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