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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08250452(A) 申请公布日期 1996.09.27
申请号 JP19950049533 申请日期 1995.03.09
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 TAKAGI HIDEO;INOUE KENICHI;TODA TAKAYUKI;HOSODA TSUTOMU;NAKAMURA TOMOJI;ANSONII HOTSUBUSU;MIZUTANI HIROSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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