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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08250591(A) 申请公布日期 1996.09.27
申请号 JP19950097418 申请日期 1995.03.07
申请人 SONY CORP 发明人 KANEMURA RYUICHI
分类号 H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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