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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von kristallinen und polykristallinen Materialien in einem Untersuchungsbereich
摘要
申请公布号 DE19510168(A1) 申请公布日期 1996.09.26
申请号 DE19951010168 申请日期 1995.03.21
申请人 HEIMANN SYSTEMS GMBH, 65197 WIESBADEN, DE 发明人 GEUS, GEORG, DIPL.-ING., 65201 WIESBADEN, DE
分类号 G01N23/201;G01V5/00;(IPC1-7):G01N23/207 主分类号 G01N23/201
代理机构 代理人
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