| 发明名称 |
METHOD FOR FILM FORMATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS51142038(A) |
申请公布日期 |
1976.12.07 |
| 申请号 |
JP19750066181 |
申请日期 |
1975.06.02 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
CHITOMO HIDEKI;ONO HIROSHI;FUJII TASUKU;SHIBAYAMA KIYOUICHI |
| 分类号 |
C25D13/00;B05D1/18;B05D1/36;C25D13/04;H01B13/16 |
主分类号 |
C25D13/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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