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发明名称 AUTOMATIC THIN-FILM MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR960012745(B1) 申请公布日期 1996.09.24
申请号 KR19920021993 申请日期 1992.11.21
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC K.K. 发明人 OBATA, MASANORI;ARIMA, JUNICHI;HIRATA, KATSUHIRO
分类号 C23C14/54;G01B21/08;G01G9/00;G01G17/00;G01G23/01;G01G23/48;H01L21/66;(IPC1-7):G01G9/00 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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