发明名称 ISOLATION METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08236609(A) 申请公布日期 1996.09.13
申请号 JP19950040308 申请日期 1995.02.28
申请人 NKK CORP 发明人 TAKEUCHI NOBUYOSHI
分类号 H01L21/31;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/306 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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