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发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号 DE69116592(T2) 申请公布日期 1996.09.12
申请号 DE1991616592T 申请日期 1991.04.19
申请人 PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL 发明人 DE KEIJSER, MARCO STEFAN, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;VAN OPDORP, CHRISTIANUS JOHANNES MARIA, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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