发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Drucksensors
摘要
申请公布号 DE19509250(C1) 申请公布日期 1996.09.12
申请号 DE1995109250 申请日期 1995.03.15
申请人 ROBERT BOSCH GMBH, 70469 STUTTGART, DE 发明人 GOEBEL, ULRICH, DR., 72760 REUTLINGEN, DE;THOMAE, ANDREAS, DIPL.-ING., 72138 KIRCHENTELLINSFURT, DE;SCHWAIGER, JUERGEN, 72766 REUTLINGEN, DE;BECKER, ROLF, DIPL.-ING. DR., 72766 REUTLINGEN, DE;FISCHER, ANDREAS, 72760 REUTLINGEN, DE
分类号 G01L7/00;G01L7/08;G01L9/00;G01L9/04;G01L19/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L7/08;G01D5/00 主分类号 G01L7/00
代理机构 代理人
主权项
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