发明名称 METHOD FOR GROWING GALLIUM NITRIDE COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL, AND GALLIUM NITRIDE COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0711853(A4) 申请公布日期 1996.09.11
申请号 EP19950914510 申请日期 1995.04.05
申请人 JAPAN ENERGY CORPORATION 发明人 TOGAWA, SEIJI;OKAZAKI, HITOSHI
分类号 C30B23/02;C30B25/02;H01L21/20;H01L33/16;H01L33/32;(IPC1-7):C30B23/00;H01L21/203 主分类号 C30B23/02
代理机构 代理人
主权项
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