Vertikal ausgerichtete CVD-Vorrichtung umfassend ein Gas-Einlassrohr mit Gas-Einblasöffnungen,申请号DE19916018337T-传众专利搜索

发明名称	Vertikal ausgerichtete CVD-Vorrichtung umfassend ein Gas-Einlassrohr mit Gas-Einblasöffnungen
摘要
申请公布号	DE69118337(T2)	申请公布日期	1996.09.05
申请号	DE19916018337T	申请日期	1991.12.19
申请人	TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO, JP;KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP	发明人	MIYAZAKI, SHINJI, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;MIKATA, YUICHI, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;MORIYA, TAKAHIKO, C/O INTELLECTUAL PROPERTYDIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;NIINO, REIJI, NAKAKOMA-GUN, YAMANASHI-KEN, JP;NISHIMURA, MOTOHIKO, NAKAKOMA-GUN, YAMANASHI-KEN, JP
分类号	H01L21/31;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):C23C16/44	主分类号	H01L21/31
代理机构		代理人
主权项
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