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发明名称 Temperature control system for lamp annealer
摘要
申请公布号 EP0520417(B1) 申请公布日期 1996.09.04
申请号 EP19920110656 申请日期 1992.06.24
申请人 KOYO SEIKO CO., LTD. 发明人 HIGASHIRA, HIDEKI
分类号 F27B17/00;G05D23/27;H01L21/00;H01L21/26;H05B3/00;(IPC1-7):G05D23/27;H01L21/268;H05B39/04 主分类号 F27B17/00
代理机构 代理人
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