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发明名称 VACUUM VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08225941(A) 申请公布日期 1996.09.03
申请号 JP19950051963 申请日期 1995.02.16
申请人 SHINCRON:KK 发明人 KIKUCHI KAZUO;ODAGIRI AKIRA;ZAISHO SHINICHIRO
分类号 C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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