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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0375368(A) 申请公布日期 1991.03.29
申请号 JP19890211498 申请日期 1989.08.18
申请人 FUJI PHOTO FILM CO LTD 发明人 NAKADA JUNJI;TAKEUCHI HIDEAKI
分类号 C23C14/35;C23C14/34;G11B11/10;G11B11/105;H01F41/18 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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