发明名称 Chemisch amplifizierter Photolack
摘要
申请公布号 DE69027799(D1) 申请公布日期 1996.08.22
申请号 DE1990627799 申请日期 1990.02.02
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BRUNSVOLD, WILLIAM ROSS, POUGHKEEPSIE, N.Y. 12603, US;KNORS, CHRISTOPHER JOHN, WAPPINGERS FALLS, N.Y. 12590, US;KWONG, RANEE WAI-LING, WAPPINGERS FALLS, N.Y. 12590, US;MIURA, STEVE SEIICHI, POUGHKEEPSIE, N.Y. 12601, US;MONTGOMERY, MELVIN WARREN, NEW WINDSOR, N.Y. 12550, US;MOREAU, WAYNE MARTIN, WAPPINGERS FALLS, N.Y. 12590, US;SACHDEV, HARBANS SINGH, WAPPINGERS FALLS, N.Y. 12590, US
分类号 G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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