发明名称 Method of making two types of tin and the layers made by this method.
摘要
申请公布号 EP0685876(A3) 申请公布日期 1996.08.21
申请号 EP19950303830 申请日期 1995.06.02
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人 BIBERGER, MAXIMILIAN;TKACH, GEORGE J.;JACKSON, STANLEY;TSAI, WILMAN
分类号 C23C14/00;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/34;C23C14/58;C23C16/14;C23C16/56;H01L21/203;H01L21/31;H01L21/318;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
地址