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发明名称 METHOD FOR FORMATION FLUOROSILICATE GLASS LAYER
摘要
申请公布号 JPH08213388(A) 申请公布日期 1996.08.20
申请号 JP19950255352 申请日期 1995.10.02
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM>;TOSHIBA CORP 发明人 DEBITSUDO MAAKU DOBUJINSUKII;TETSUO MATSUDA;SAN BAN GUEN;JIEEMUZU GAADONAA RAIAN;MAIKERU SHIYAPIRO
分类号 C23C16/30;C23C16/40;C23C16/505;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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