| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG VON IONEN-UNTERSTÜTZTEN BEARBEITUNGSVORGÄNGEN AN WAFERN UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT141443(T) |
申请公布日期 |
1996.08.15 |
| 申请号 |
AT19900905183T |
申请日期 |
1990.03.31 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
HEINRICH, FRIEDHELM |
| 分类号 |
C23C14/54;H01J37/305;H01J37/317;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32;H01J37/304;G01N21/62 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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