| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Testgas-Lecksuchgerät (1) mit einem Einlass (2), mit einem als Massenspektrometer ausgebildeten Detektor (3), mit einer im Gegenstrom betriebenen ersten Reibungspumpenstufe (5), mit einer zweiten Reibungspumpenstufe (7), mit einem Zwischenanschluss (6) zwischen der ersten und der zweiten Reibungspumpenstufe, mit einer Vorvakuumpumpe (8), mit einer ersten, absperrbaren Verbindungsleitung (13) zwischen dem Einlass (2) des Lecksuchgerätes und der Einlassseite (9) der Vorvakuumpumpe (8) sowie mit einer zweiten, absperrbaren Leitung (15) zwischen dem Einlass (2) des Lecksuchgerätes und dem Zwischenanschluss (6); um eine ölfreie Lecksuche zu ermöglichen, wird vorgeschlagen, dass die Vorvakuumpumpe (8) eine Membranpumpe ist. Zur Erzielung einer kürzeren Ansprechzeit ist es zweckmässig, dass die Verbindungsleitung (15) zwischen dem Einlass (2) des Lecksuchgerätes (1) und dem Zwischeneinlass (6) in bezug auf ihren Leitwert regelbar ist.
|
