发明名称 PRODUCTION OF SINGLE-CRYSTALLINE SILICON CARBIDE
摘要
申请公布号 JPH08208394(A) 申请公布日期 1996.08.13
申请号 JP19950016240 申请日期 1995.02.02
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 OTANI NOBORU;KATSUNO MASAKAZU;KANETANI MASATOSHI
分类号 C30B29/36;H01L21/20;(IPC1-7):C30B29/36 主分类号 C30B29/36
代理机构 代理人
主权项
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