| 发明名称 |
FURNACE TEMPERATURE SUDDEN RAISING/LOWERING DEVICE USING INSERTION SHUTTER AND MANUFACTURE OF THE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10163219(A) |
申请公布日期 |
1998.06.19 |
| 申请号 |
JP19970302955 |
申请日期 |
1997.11.05 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
MICHAEL F PASS;C RIN KURI-BURIN;SILVIA D PASS |
| 分类号 |
H01L21/22;C30B31/12;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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