| 主权项 |
1.一种过滤装置,装配于一化学机械研磨机台上,用 以过 滤研浆,该过滤装置包括:一过滤室,该过滤室具有 一研 浆输入口与一研浆输出口,该研浆输入口位于该过 滤室之 一侧,该研浆输出口位于该过滤室之顶部;一过滤 器,装 配于该过滤室之内部,该过滤器具有一开口,并透 过该开 口覆盖该研浆输出口;以及一搅拌装置,用以搅动 该过滤 室内之研浆,避免发生研浆沈淀的情形。2.如申请 专利范围第1项所述之过滤装置,其中该搅拌装 置包括:一搅拌子,配置于该过滤室之内部;以及一 搅拌 器,配置于该过滤室之底部下方,用以带动该过滤 室内之 该搅拌子搅动。3.如申请专利范围第2项所述之过 滤装置,其中该搅拌子 系由铁弗龙包覆一磁性物所组成。4.如申请专利 范围第3项所述之过滤装置,其中该磁性物 系一钢棒。5.如申请专利范围第1项所述之过滤装 置,其中该过滤器 之材质包括铁弗龙。6.如申请专利范围第1项所述 之过滤装置,其中该过滤器 之材质包括铁弗龙。7.如申请专利范围第1项所述 之过滤装置,其中该化学机 械研磨机台系一Cybeq IP8000化学机械研磨机台。8. 一种过滤装置,装配于一化学机械研磨机台上,用 以过 滤研浆,该过滤装置包括:一过滤室,该过滤室具有 一研 浆输入口与一研浆输出口,该研浆输入口位于该过 滤室之 一侧,该研浆输出口位于该过滤室之顶部;一过滤 器,装 配于该过滤室之内部,该过滤器具有一开口,并透 过该开 口覆盖该研浆输出口;一搅拌子,配置于该过滤室 之内部 ;以及一搅拌器,配置于该过滤室之底部下方,用以 带动 该过滤室内之该搅拌子搅动。9.如申请专利范围 第8项所述之过滤装置,其中该化学机 械研磨机台系一Cybeq IP8000化学机械研磨机台。10. 如申请专利范围第8项所述之过滤装置,其中该过 滤室 之材质包括铁弗龙。11.如申请专利范围第8项所述 之过滤装置,其中该过滤器 之材质包括铁弗龙。12.如申请专利范围第8项所述 之过滤装置,其中该搅拌子 系由铁弗龙包覆一磁性物所组成。13.如申请专利 范围第12项所述之过滤装置,其中该磁性 物系一钢棒。14.如申请专利范围第8项所述之过滤 装置,其中该搅拌器 带动该过滤室内之该搅拌子搅动的方法包括利用 磁力。图 式简单说明:第一图绘示的是习知一种过滤装置的 剖面图 ;以及第二图绘示的是依照本创作一较佳实施例之 一种过 滤装置的剖面图。 |
