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发明名称 SEMICONDUCTOR MEASURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08195423(A) 申请公布日期 1996.07.30
申请号 JP19950021279 申请日期 1995.01.13
申请人 NEC CORP 发明人 ABE MASAHARU
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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