发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08186249(A) 申请公布日期 1996.07.16
申请号 JP19940327156 申请日期 1994.12.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 AWANO YUJI;MAEDA TAKESHI
分类号 H01L21/8238;H01L21/338;H01L27/092;H01L27/095;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/778;H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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