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发明名称 Electron beam lithography machine and image display apparatus
摘要
申请公布号 EP0394698(B1) 申请公布日期 1996.07.10
申请号 EP19900106038 申请日期 1990.03.29
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 MORIKAWA, YUKO;YANAGISAWA, YOSHIHIRO;TAKIMOTO, KIYOSHI
分类号 H01J1/312;H01J9/02;H01J29/04;H01J29/48;H01J31/12;H01J37/073;(IPC1-7):H01J1/30;H01J37/317 主分类号 H01J1/312
代理机构 代理人
主权项
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