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发明名称 SPUTTERING TARGET WITH LIFE ALARMING FUNCTION
摘要
申请公布号 JPH08176808(A) 申请公布日期 1996.07.09
申请号 JP19930125067 申请日期 1993.04.28
申请人 JAPAN ENERGY CORP;OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SAWADA SUSUMU;ANAMI JUNICHI;NAKAMURA HIROKI;SAKATANI YOSHIHIRO
分类号 C23C14/34;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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