发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08172049(A) 申请公布日期 1996.07.02
申请号 JP19940333876 申请日期 1994.12.16
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI;KUSUMOTO NAOTO;TANAKA KOICHIRO
分类号 H01L21/02;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;H01L21/77;H01L27/12;H01L29/04;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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