发明名称 PRESSURE REDUCED PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH08162451(A) 申请公布日期 1996.06.21
申请号 JP19940304482 申请日期 1994.12.08
申请人 SONY CORP 发明人 HARA MASATERU
分类号 C30B25/14;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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