发明名称 MANUFACTURE OF ELECTRONIC COMPONENT
摘要
申请公布号 JPH08162485(A) 申请公布日期 1996.06.21
申请号 JP19940298376 申请日期 1994.12.01
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SAKAMI SEIJI
分类号 H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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