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发明名称 SPIN CLEANING AND DRYING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH08162435(A) 申请公布日期 1996.06.21
申请号 JP19940330184 申请日期 1994.12.06
申请人 DISCO ABRASIVE SYST LTD 发明人 OMIYA NAOKI
分类号 B08B3/02;F26B5/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
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