| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08162541(A) |
申请公布日期 |
1996.06.21 |
| 申请号 |
JP19940305980 |
申请日期 |
1994.12.09 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
NORISHIMA MASAYUKI;MATSUNOU TADASHI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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