发明名称 CUTTING DEVICE HAVING FOAM DISCHARGING MEANS
摘要
申请公布号 JPH08155784(A) 申请公布日期 1996.06.18
申请号 JP19940321773 申请日期 1994.11.30
申请人 DISCO ABRASIVE SYST LTD 发明人 MABASHI TAKAYUKI
分类号 B23Q11/08;B23Q11/10;H01L21/304;(IPC1-7):B23Q11/10 主分类号 B23Q11/08
代理机构 代理人
主权项
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