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发明名称 Vorrichtung zur Ionenimplantation und Verfahren, um sie zu reinigen
摘要
申请公布号 DE69115801(T2) 申请公布日期 1996.06.05
申请号 DE19916015801T 申请日期 1991.08.28
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 SHIOZAKI, MASAKAZU, C/O INTELLECTUAL PROPERTYDIV., TOKYO 105, JP;OKUMURA, KATSUYA, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV., TOKYO 105, JP
分类号 C23C14/48;C23G5/00;H01J37/02;H01J37/16;H01J37/18;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/02 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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